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半导体无尘室能源节约之可行方法
发布日期:2018-09-12 10:38:04

文章讲解了半导体无尘室室内外能源负荷,并针对半导体无尘室之可能省能方法作详细逐条说明。

A.室内负荷:

 a)人员(显热=6Okcal/h.人,潜热=5Okcal/h.人)

b)灯光:30W/㎡(在黄光区此值应取较大约1.5倍的值)

c)机器负荷:

输入功率X负荷系数

冷却循环水负荷=循环水流量X水温差(此处温差约为5左右)

排气负荷=排气量X排气温差,此处排气温差可分为三类:1酸气,有机气体或紧急排气的排气温差一般为52不可燃气体的排气温差为1O左右,3机台的产生高温机械其排气装置的排气温差为2O左右。

d)送风机的热负荷:输入功率X负荷系数:

B.室外负荷:

外气输入量X室内外空气之焓值差,此处外气输入量包含排气量加上人员换气及维持正压需要量。

在分析半导体无尘室之能源消耗的同时必须了解,一般工作区分为1fabrication区,即一般所谓fab区,2assembly区和test区。通常各区之清净及要求等级会不同,而其无尘室之构造也会不同,如同一所示的A.H.U系统通常配合乱流型无尘室作为AssemblyTest区,其无尘室之设计采乱流型者,ceiling并非布满filterfilter的面积和ceiling面积比必须达到一定值才能确保清净度,而且为了气流分布的关系,filter的出口通常会加装diffuser,以加强filter出风空气的扩散面积。至于fab区,无尘室目前较普通的设置有三种,即OPEN BAY SYSTEMFAN-FILTER UNIT STSTEMFANMODULESYSTEM其简图分别如图二、三、四所示。通常FAB区的无尘室型式之选定必须考虑生产、维修、使用年限及初期投资能源消耗等因素,而必须作周全的考虑,上述三种型式各有其优缺点,其抉择须多方考虑,最佳方案的确定目前尚无定论,研究仍需进行,目前一般认为FANFILTER UNIT SYSTEMFANMODULE SYSTEMOPEN-BAY SYSTEM有较大的省能空间。

就半导体无尘室之负荷特征而言,不论上述三种FAB区之无尘室型式为何,其HVAC的热负荷都较一般建筑高出甚多,这其中经由建筑物之穿透负荷,人员及灯光等负荷和一般办公室并无太大差别,唯外气负荷、机器负荷及送风机负荷却占所有HVAC负荷的90%以上,而这部份当中外气负荷居然占了4545%以上。

 

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